Industrijski interferometri izuzetne tačnosti

Interferometri visokih performansi Micro-Epsilon sa polihromatskim belim svetlom pružaju vam najviši nivo tačnosti u beskontaktnom merenju apsolutne optičke udaljenosti i/ili debljine jednoslojnih meta. Zahvaljujući izuzetnoj rezoluciji (<30 pikometara) i odličnoj linearnosti, oni su neuporedivo precizniji od konfokalnih mernih sistema. Za razliku od tradicionalnih laserskih interferometara, oni koriste izvor svetlosti sa širokim spektrom talasnih dužina, što omogućava veoma precizna apsolutna merenja. Pored toga, sa talasnim dužinama bliskim IR delu spektra, otvaraju mogućnost merenja debljine antirefleksnog stakla, plastike, reflektujućih metala i obloženih predmeta.

Pored navedenog, MP (Multi-Peak) verzije industrijskih interferometara omogućavaju vam jednostrana merenja višeslojnih ciljeva. Sa MP modelima za merenje udaljenosti, možete meriti rastojanja i debljine nekoliko slojeva istovremeno. Za izračunavanje debljine pojedinih slojeva uzimaju se u obzir rastojanja između granica slojeva i indeksi prelamanja ovih slojeva. Sa MP modelima za merenje debljine možete meriti debljinu pojedinačnih slojeva ili njihove kombinacije, ali ne i rastojanja.

Koristite različite MP modele za različite zadatke

Dostupna su dva MP merna sistema: MP model za merenje udaljenosti (IMS5x00-DS/MP) i MP model za merenje debljine (IMS5400-TH/MP).

Modeli merenja udaljenosti Multi-peak su posebno korisni za zadatke poravnanja i pozicioniranja gde morate istovremeno da izmerite rastojanje i odredite debljinu. Ovde, višeslojna meta može biti debljine do 2,1 mm i sastojati se od do 13 providnih slojeva, sa minimalnom debljinom pojedinačnog sloja od 10 µm. Pošto ovi interferometri mere apsolutna rastojanja (za razliku od laserskih interferometara), ne morate da ih ponovo kalibrirate nakon prekida signala (npr. pri koracima prelaza ili ivica).

Koristite višeslojne modele za merenje debljine za merenje višeslojnih ciljeva do 5 slojeva, sa debljinom svakog sloja od 35 µm do 1,4 mm i ukupnom debljinom cilja do 4,2 mm ili 7 mm (u zavisnosti od modela). Mogućnost merenja sa velike udaljenosti dodatno obezbeđuje veću pouzdanost merenja i štiti senzor od oštećenja.

Brzo postavljanje i jednostavno upravljanje MP interferometrima

Micro-Epsilon rešenje vam pruža veliki izbor podešavanja koja možete lako da primenite preko modernog web interfejsa prilagođenog korisniku.

Dostupan je širok spektar interfejsa za optimalnu integraciju interferometara u uređaje i sisteme:

• digitalni interfejsi (Ethernet / EtherCAT / RS422; sa dodatnim modulom i Profinet / EtherNet/IP),
• linkovi kodera,
• analogni izlazi,
• sinhronizovani izlazi i
• digitalni I/O.

Čak i pokretanje i parametriranje se odvijaju preko web interfejsa i ne zahtevaju instalaciju specijalnog softvera (pogledajte video).

Lako podesite i precizno pozicionirajte MP interferometre

Prilikom jednostranog merenja debljine jednog ili više providnih slojeva, vibracije ili druga pomeranja mete ne utiču značajno na merenje. Robusna IP65 kućišta senzora osiguravaju da se interferometri mogu koristiti čak i u najzahtevnijim industrijskim uslovima. Pored standardnih verzija, MP verzije su dostupne i za vakuumske aplikacije.

Precizno pozicioniranje i podešavanje glava senzora interferometara može se obezbediti tokom montaže sa fleksibilnim JMA nosačima. Zajedno sa senzorima, instalirajte ih u mašinu ili uređaj, a zatim optimalno postavite glave senzora na njihovo radno mesto. Podesivi nosač je dizajniran za jednostrano i dvostrano merenje debljine, jer vam omogućava da precizno pozicionirate obe glave senzora u isto vreme.

Drugi model nosača je namenjen za merenje udaljenosti i debljine u jednoj ćeliji, slično Micro-Epsilon konfokalnim senzorima.

Odaberite najprikladniji MP industrijski interferometar

Pored modela IMS5400-TH za merenje debljine jednog sloja i modela IMS5400-DS i IMS5600-DS za merenje apsolutne udaljenosti do jednoslojnih ciljeva, Micro-Epsilon vam nudi sledeće Multi-peak modele (MP):

Iskoristite prednosti MP interferometara u raznim primenama

Najčešća primena MP interferometra za merenje debljine u industriji je jednostrano merenje debljine višeslojnog stakla, tankih filmova ili premaza, sočiva i sličnih površina koje su providne za IR svetlost. Možete ih koristiti u industriji stakla, industriji tankih slojeva/filmova, displejima, LED diodama i mnogim drugim industrijama.

Sa MP interferometrima udaljenosti možete meriti razdaljine širokog spektra providnih višeslojnih materijala u industriji: stakla, metala, tankih filmova ili premaza, sočiva i drugih površina. Posebno će vam koristiti u visokotehnološkoj industriji poluprovodnika i mikroelektronike.

Uobičajena je i upotreba MP interferometara u kontrolisanim laboratorijskim uslovima, upravo zbog njihove veoma visoke rezolucije i tačnosti.

Pogledajte neke primere upotrebe

• Provera debljine filma u proizvodnoj liniji

Sa modelom IMS5400-TH/MP detektujte debljinu filma sa mikronskom preciznošću čak i pri vrlo velikim brzinama merenja i laganom vertikalnom pomeranju filma.

• Merenje položaja stakla pri vrlo preciznoj montaži

Sa modelom IMS5400-DS19/MP proverite i položaj stakla i debljinu pojedinačnih slojeva u laminiranom staklu.

• Merenje debljine stakla ekrana na proizvodnoj liniji

Interferometri IMS5400-TH/MP mere debljinu 5 slojeva, uključujući debljinu vazdušne praznine između slojeva.

• Merenje udaljenosti za poravnanje fotomaske

Izmerite udaljenosti poravnanja fotomaske u industriji poluprovodnika pomoću vakuumske verzije IMS5600-DS19/MP/VAC.